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                                                                                                                                                                                                                                                                                    <thead id="nhrjr"></thead>

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                                                                                                                                                                                                                                                                                                    <sub id="nhrjr"></sub>
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                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  始于2002年,20年不停研發不斷創新
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  天惠儀器-橡塑產品實驗室儀器優質制造商
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  聯系方式
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  13773398119
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                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  技術支持

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  光學薄膜測厚儀的核心技術介紹和原理說明

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  更新時間  2022-04-01 10:55:25 閱讀 50

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        光學薄膜測厚儀的特點是非接觸, 非破壞方式測量,無需樣品的前處理,軟件支持Windows操作系統等。光學薄膜測厚儀是使用可視光測量晶圓、玻璃等基材上形成的氧化膜,氮化膜,光致抗蝕劑等非金屬薄膜厚度的儀器。

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        測量原理如下:在測量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可視光,這時光的一部分在膜的表面反射,另一部分透進薄膜,然后在膜與底層 (晶圓或玻璃)之間的界面反射。這時薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光產生干涉現象。光學薄膜測厚儀就是利用這種干涉現象來測量薄膜厚度的儀器。

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  儀器的光源使用鎢絲燈,波長范圍是400 nm~800 nm。從ST2000到ST7000使用這種原理,測量面積的直徑大小是4μm ~ 40μm (2μm ~ 20μm optional)。ST8000-Map作為K-MAC (株) 最主要的產品之一,有影像處理的功能,是超越一般薄膜厚度測量儀器的新概念上的厚度測量儀器。測量面積的zui小直徑為0.2μm,遠超過一般厚度測量儀器的測量jixian (4μm)。順次測量數十個點才能得到的厚度地圖也可一次測量得到,使速度和精確度都大大提高。


                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  日本三级在线播放线观看视频,天堂VA欧美ⅤA亚洲VA在线,欧美午夜刺激影院,国产精品无码久久综合网