光學薄膜測厚儀的特點是非接觸, 非破壞方式測量，無需樣品的前處理，軟件支持Windows操作系統等。光學薄膜測厚儀是使用可視光測量晶圓、玻璃等基材上形成的氧化膜，氮化膜，光致抗蝕劑等非金屬薄膜厚度的儀器。

      測量原理如下：在測量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可視光，這時光的一部分在膜的表面反射，另一部分透進薄膜，然后在膜與底層 (晶圓或玻璃)之間的界面反射。這時薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光產生干涉現象。光學薄膜測厚儀就是利用這種干涉現象來測量薄膜厚度的儀器。

儀器的光源使用鎢絲燈，波長范圍是400 nm~800 nm。從ST2000到ST7000使用這種原理，測量面積的直徑大小是4μm ~ 40μm (2μm ~ 20μm optional)。ST8000-Map作為K-MAC (株) 最主要的產品之一，有影像處理的功能，是超越一般薄膜厚度測量儀器的新概念上的厚度測量儀器。測量面積的zui小直徑為0.2μm，遠超過一般厚度測量儀器的測量jixian (4μm)。順次測量數十個點才能得到的厚度地圖也可一次測量得到，使速度和精確度都大大提高。